Патенты с меткой «одновременно»

Способ и установка для нанесения пленок одновременно на обе стороны основы

Загрузка...

Номер патента: 19070

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Мишель Эрик, Тиксон Эрик, Леклерк Жозеф

МПК: C23C 16/54, C03C 17/00, C23C 16/509...

Метки: обе, нанесения, установка, стороны, способ, пленок, одновременно, основы

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленки одновременно на обе стороны неорганического субстрата, отличающийся тем, что он содержит следующие операции:субстрат вводят в, или пропускают через реакционную камеру (106, 206), в которой помещают по меньшей мере два электрода (110, 210), на каждой стороне субстрата помещают по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) между по меньшей мере одной стороной субстрата и этими по меньшей мере двумя электродами...