Яухиайнен Мика

Устройство для реактора послойного атомного осаждения

Загрузка...

Номер патента: 18887

Опубликовано: 29.11.2013

Авторы: Яухиайнен Мика, Соининен Пекка

МПК: C23C 16/455, C30B 25/14

Метки: осаждения, послойного, устройство, атомного, реактора

Формула / Реферат:

1. Устройство для реактора послойного атомного осаждения, включающего реакционную камеру, средний элемент, два реверсивных элемента, патрубки для подачи реакционного газа и его отвода и патрубки для подачи барьерного газа, при этом патрубки для подачи и отвода реакционного газа и подачи барьерного газа содержат средний элемент (3), имеющий множество параллельных каналов (4 и 6), проходящих через этот элемент, и первый и второй реверсивные...