Павлов Александр Александрович

Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки

Загрузка...

Номер патента: 21268

Опубликовано: 29.05.2015

Авторы: Сауров Александр Николаевич, Шаманаев Артемий Андреевич, Кондратьев Павел Константинович, Шаман Юрий Петрович, Павлов Александр Александрович, Басаев Александр Сергеевич, Галперин Вячеслав Александрович

МПК: B82Y 40/00, G01L 9/00, B82B 3/00...

Метки: нанотрубки, способ, углеродные, давления, датчика, изготовления, содержащего

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...

Датчик давления

Загрузка...

Номер патента: 20049

Опубликовано: 29.08.2014

Авторы: Галперин Вячеслав Александрович, Павлов Александр Александрович, Шаманаев Артемий Андреевич, Шаман Юрий Петрович, Сауров Александр Николаевич, Благов Евгений Владимирович, Шаманаев Сергей Владимирович

МПК: B82B 1/00, G01L 9/00

Метки: датчик, давления

Формула / Реферат:

1. Датчик давления, содержащий подложку с двумя расположенными друг над другом диэлектрическими слоями, массив углеродных нанотрубок, подсоединенную к указанному массиву по меньшей мере в двух местах электрическую разводку и герметизирующий слой, причем массив углеродных нанотрубок расположен в углублении, выполненном в подложке и диэлектрических слоях, электрическая разводка расположена между диэлектрическими слоями, а герметизирующий слой...

Способ формирования массивов углеродных нанотрубок

Загрузка...

Номер патента: 19141

Опубликовано: 30.01.2014

Авторы: Галперин Вячеслав Александрович, Шаманаев Сергей Владимирович, Павлов Александр Александрович, Шаман Юрий Петрович, Басаев Александр Сергеевич, Сауров Александр Николаевич

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: углеродных, массивов, формирования, способ, нанотрубок

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа и/или раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок или активатор...

Способ формирования массивов углеродных нанотрубок

Загрузка...

Номер патента: 16557

Опубликовано: 30.05.2012

Авторы: Шаманаев Сергей Владимирович, Галперин Вячеслав Александрович, Басаев Александр Сергеевич, Сауров Александр Николаевич, Лабунов Владимир Архипович, Шулицкий Борис Георгиевич, Павлов Александр Александрович, Благов Евгений Владимирович, Шаман Юрий Петрович

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: нанотрубок, массивов, углеродных, формирования, способ

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют слой, содержащий по меньшей мере один активатор распада металлорганического соединения, затем литографией формируют...

Способ формирования углеродных наноструктур и углеродные наноструктуры, полученные этим способом

Загрузка...

Номер патента: 16164

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Павлов Александр Александрович, Шулицкий Борис Георгиевич, Резнёв Алексей Алексеевич, Галперин Вячеслав Александрович, Шаман Юрий Петрович, Лабунов Владимир Архипович, Басаев Александр Сергеевич, Сауров Александр Николаевич, Прудникова Елена Леонидовна

МПК: B82Y 30/00, B82B 3/00, B82B 1/00...

Метки: формирования, полученные, углеродные, этим, наноструктур, способом, наноструктуры, углеродных, способ

Формула / Реферат:

1. Способ формирования углеродных наноструктур, включающий введение подложки в реактор; подачу углеводорода в нагретый объем; введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения осуществляют по меньшей мере одним циклом, состоящим в изменении концентрации металлорганического...