Павлов Александр Александрович

Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки

Загрузка...

Номер патента: 21268

Опубликовано: 29.05.2015

Авторы: Павлов Александр Александрович, Шаман Юрий Петрович, Басаев Александр Сергеевич, Кондратьев Павел Константинович, Галперин Вячеслав Александрович, Сауров Александр Николаевич, Шаманаев Артемий Андреевич

МПК: B82B 3/00, G01L 9/00, B82Y 40/00...

Метки: способ, изготовления, давления, датчика, нанотрубки, содержащего, углеродные

Формула / Реферат:

1. Способ изготовления датчика давления, содержащего углеродные нанотрубки, включающий нанесение первого диэлектрического слоя на поверхность подложки, формирование электрической разводки, формирование второго диэлектрического слоя, формирование области роста массива углеродных нанотрубок в виде углубления в подложке фотолитографией, формирование буферного слоя, формирование над буферным слоем функционального слоя, содержащего активатор распада...

Датчик давления

Загрузка...

Номер патента: 20049

Опубликовано: 29.08.2014

Авторы: Галперин Вячеслав Александрович, Шаман Юрий Петрович, Павлов Александр Александрович, Шаманаев Артемий Андреевич, Благов Евгений Владимирович, Шаманаев Сергей Владимирович, Сауров Александр Николаевич

МПК: G01L 9/00, B82B 1/00

Метки: датчик, давления

Формула / Реферат:

1. Датчик давления, содержащий подложку с двумя расположенными друг над другом диэлектрическими слоями, массив углеродных нанотрубок, подсоединенную к указанному массиву по меньшей мере в двух местах электрическую разводку и герметизирующий слой, причем массив углеродных нанотрубок расположен в углублении, выполненном в подложке и диэлектрических слоях, электрическая разводка расположена между диэлектрическими слоями, а герметизирующий слой...

Способ формирования массивов углеродных нанотрубок

Загрузка...

Номер патента: 19141

Опубликовано: 30.01.2014

Авторы: Шаман Юрий Петрович, Сауров Александр Николаевич, Галперин Вячеслав Александрович, Павлов Александр Александрович, Басаев Александр Сергеевич, Шаманаев Сергей Владимирович

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: формирования, способ, углеродных, нанотрубок, массивов

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор углеродсодержащего газа и/или раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют функциональный слой, содержащий катализатор роста углеродных нанотрубок или активатор...

Способ формирования массивов углеродных нанотрубок

Загрузка...

Номер патента: 16557

Опубликовано: 30.05.2012

Авторы: Сауров Александр Николаевич, Лабунов Владимир Архипович, Галперин Вячеслав Александрович, Благов Евгений Владимирович, Шаман Юрий Петрович, Басаев Александр Сергеевич, Павлов Александр Александрович, Шаманаев Сергей Владимирович, Шулицкий Борис Георгиевич

МПК: C01B 31/02, B82Y 40/00

Метки: углеродных, формирования, нанотрубок, массивов, способ

Формула / Реферат:

1. Способ формирования массивов углеродных нанотрубок, включающий введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, введение в нагретый реактор раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что предварительно на поверхности подложки формируют буферный слой, над ним формируют слой, содержащий по меньшей мере один активатор распада металлорганического соединения, затем литографией формируют...

Способ формирования углеродных наноструктур и углеродные наноструктуры, полученные этим способом

Загрузка...

Номер патента: 16164

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Шулицкий Борис Георгиевич, Павлов Александр Александрович, Галперин Вячеслав Александрович, Басаев Александр Сергеевич, Прудникова Елена Леонидовна, Лабунов Владимир Архипович, Сауров Александр Николаевич, Шаман Юрий Петрович, Резнёв Алексей Алексеевич

МПК: B82Y 30/00, B82B 3/00, B82B 1/00...

Метки: наноструктур, углеродных, способом, формирования, способ, полученные, наноструктуры, углеродные, этим

Формула / Реферат:

1. Способ формирования углеродных наноструктур, включающий введение подложки в реактор; подачу углеводорода в нагретый объем; введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации, отличающийся тем, что введение в указанный нагретый объем раствора металлорганического соединения осуществляют по меньшей мере одним циклом, состоящим в изменении концентрации металлорганического...