Насточкин Сергей Михайлович

Способ формирования тонких пленок cigs для солнечных батарей и устройство для его реализации

Загрузка...

Номер патента: 20377

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Хохлов Евгений Александрович, Насточкин Сергей Михайлович, Марышев Сергей Павлович

МПК: H01L 21/203, H01L 31/18

Метки: формирования, батарей, устройство, пленок, реализации, способ, солнечных, тонких

Формула / Реферат:

1. Способ формирования тонких пленок CIGS для солнечных батарей большого размера путем послойного нанесения в вакууме CIGS-пленки на подложку из листового стекла с предварительно нанесенным на нее слоем токопроводящего молибдена в вакуумном коридоре линии непрерывного действия, отличающийся тем, что материал наносят последовательными слоями методом реактивного распыления в парах элементарного селена с использованием последовательно расположенных...