Маттман Эрик

Подложка, покрытая слоем диэлектрика, способ и устройство для её изготовления

Загрузка...

Номер патента: 12048

Опубликовано: 28.08.2009

Авторы: Янзен Манфред, Фишер Клаус, Лерген Маркус, Руссо Жан-Поль, Бобе Кароль, Жирон Жан-Кристоф, Маттман Эрик, Надо Николя, Хофрихтер Альфред

МПК: C03C 17/22, C23C 14/34, C03C 17/245...

Метки: подложка, способ, устройство, изготовления, слоем, покрытая, диэлектрика

Формула / Реферат:

1. Подложка (1) для остеклений, покрытая по меньшей мере одним тонким слоем диэлектрика, полученным нанесением катодного напыления, реакционноспособным в присутствии кислорода, и облучением по меньшей мере одним пучком ионов (3), происходящим из ионного источника (4) при условиях, приводящих к получению кристаллического слоя, вышеупомянутый слой диэлектрика представляет собой слой из оксида металла или кремния, стехиометрического или...

Подложка, покрытая слоем диэлектрика, и способ и устройство для её изготовления

Загрузка...

Номер патента: 11247

Опубликовано: 27.02.2009

Авторы: Хофрихтер Альфред, Надо Николя, Лерген Маркус, Жирон Жан-Кристоф, Фишер Клаус, Янзен Манфред, Маттман Эрик, Бобе Кароль, Руссо Жан-Поль

МПК: C03C 17/245, C03C 17/22, C03C 17/36...

Метки: покрытая, изготовления, подложка, устройство, диэлектрика, способ, слоем

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытия на подложку (1), включающий формирование по меньшей мере одного тонкого слоя диэлектрика на подложку катодным напылением в камере напыления (2) и облучение его по меньшей мере одним пучком ионов (3), отличающийся тем, что пучок ионов в камере напыления формируют при помощи линейного ионного источника, при этом требуемое значение показателя преломления вышеупомянутого слоя диэлектрика задают посредством изменения...