Калем Сереф

Микрокристаллические и нанокристаллические структуры с низкой диэлектрической проницаемостью для применения в области высоких технологий

Загрузка...

Номер патента: 13649

Опубликовано: 30.06.2010

Автор: Калем Сереф

МПК: H01L 21/28, G06F 21/00, H01L 21/20...

Метки: проницаемостью, технологий, области, нанокристаллические, низкой, высоких, структуры, применения, микрокристаллические, диэлектрической

Формула / Реферат:

1. Способ синтеза микрокристаллических и нанокристаллических структур с низкой диэлектрической проницаемостью, имеющих свойства сегнетоэлектриков и способность к излучению в оптическом диапазоне, в тефлоновом контейнере на подложках на основе германия (Ge), алмаза (С) и/или кремния (Si), включающий следующие стадии:a) заполнение тефлонового контейнера (3) смесью реагентов HF и HNO3и образование в нем паров реагентов,b) контактирование смеси с...