Хофрихтер Альфред

Подложка, покрытая слоем диэлектрика, способ и устройство для её изготовления

Загрузка...

Номер патента: 12048

Опубликовано: 28.08.2009

Авторы: Фишер Клаус, Надо Николя, Янзен Манфред, Хофрихтер Альфред, Маттман Эрик, Бобе Кароль, Руссо Жан-Поль, Лерген Маркус, Жирон Жан-Кристоф

МПК: C03C 17/22, C03C 17/245, C23C 14/34...

Метки: покрытая, слоем, подложка, способ, устройство, изготовления, диэлектрика

Формула / Реферат:

1. Подложка (1) для остеклений, покрытая по меньшей мере одним тонким слоем диэлектрика, полученным нанесением катодного напыления, реакционноспособным в присутствии кислорода, и облучением по меньшей мере одним пучком ионов (3), происходящим из ионного источника (4) при условиях, приводящих к получению кристаллического слоя, вышеупомянутый слой диэлектрика представляет собой слой из оксида металла или кремния, стехиометрического или...

Подложка, покрытая слоем диэлектрика, и способ и устройство для её изготовления

Загрузка...

Номер патента: 11247

Опубликовано: 27.02.2009

Авторы: Маттман Эрик, Хофрихтер Альфред, Надо Николя, Янзен Манфред, Лерген Маркус, Фишер Клаус, Жирон Жан-Кристоф, Руссо Жан-Поль, Бобе Кароль

МПК: C03C 17/245, C03C 17/22, C03C 17/36...

Метки: диэлектрика, способ, слоем, изготовления, подложка, устройство, покрытая

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытия на подложку (1), включающий формирование по меньшей мере одного тонкого слоя диэлектрика на подложку катодным напылением в камере напыления (2) и облучение его по меньшей мере одним пучком ионов (3), отличающийся тем, что пучок ионов в камере напыления формируют при помощи линейного ионного источника, при этом требуемое значение показателя преломления вышеупомянутого слоя диэлектрика задают посредством изменения...