H01L 21/3065 — плазменное травление; ионное травление

Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев (варианты) и устройство для его реализации

Загрузка...

Номер патента: 8187

Опубликовано: 27.04.2007

Авторы: Хисамов Айрат Хамитович, Марышев Сергей Павлович, Ширипов Владимир Яковлевич

МПК: C23C 14/50, C23C 14/46, H01L 21/3065...

Метки: теневых, реализации, очистки, варианты, устройство, производстве, способ, масок, дисплеев

Формула / Реферат:

1. Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев, включающий формирование ионного пучка в вакуумной камере с помощью источника ионов, размещение маски в камере напротив эмиссионной поверхности источника ионов, отличающийся тем, что в вакуумной камере устанавливают охлаждаемый держатель, в котором размещают маску, при этом обрабатываемую поверхность маски, обращенную в сторону эмиссионной поверхности источника ионов, сканируют...