H01L 21/3065 — плазменное травление; ионное травление

Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев (варианты) и устройство для его реализации

Загрузка...

Номер патента: 8187

Опубликовано: 27.04.2007

Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Марышев Сергей Павлович, Хисамов Айрат Хамитович

МПК: H01L 21/3065, C23C 14/50, C23C 14/46...

Метки: устройство, дисплеев, способ, масок, варианты, реализации, очистки, производстве, теневых

Формула / Реферат:

1. Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев, включающий формирование ионного пучка в вакуумной камере с помощью источника ионов, размещение маски в камере напротив эмиссионной поверхности источника ионов, отличающийся тем, что в вакуумной камере устанавливают охлаждаемый держатель, в котором размещают маску, при этом обрабатываемую поверхность маски, обращенную в сторону эмиссионной поверхности источника ионов, сканируют...