H01L 21/203 — физическим осаждением или напылением, например вакуумным распылением или разбрызгиванием

Способ формирования тонких пленок cigs для солнечных батарей и устройство для его реализации

Загрузка...

Номер патента: 20377

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Марышев Сергей Павлович, Хохлов Евгений Александрович, Ширипов Владимир Яковлевич, Насточкин Сергей Михайлович

МПК: H01L 21/203, H01L 31/18

Метки: устройство, тонких, способ, реализации, солнечных, батарей, формирования, пленок

Формула / Реферат:

1. Способ формирования тонких пленок CIGS для солнечных батарей большого размера путем послойного нанесения в вакууме CIGS-пленки на подложку из листового стекла с предварительно нанесенным на нее слоем токопроводящего молибдена в вакуумном коридоре линии непрерывного действия, отличающийся тем, что материал наносят последовательными слоями методом реактивного распыления в парах элементарного селена с использованием последовательно расположенных...

Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме (варианты)

Загрузка...

Номер патента: 9303

Опубликовано: 28.12.2007

Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Левчук Николай Евгеньевич, Хисамов Айрат Хамитович, Хохлов Александр Евгеньевич, Марышев Сергей Павлович

МПК: C23C 14/46, H01L 21/203

Метки: кремния, вакууме, пленок, нанесения, способ, нитрида, варианты

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленок нитрида кремния в вакууме на неподвижно установленную подложку, при котором в вакуумную камеру подают смесь рабочих газов: азота и аргона, формируют ионный пучок по крайней мере из одного источника ионов, мишень из кремния распыляют направленным ионным пучком, а распыленный материал осаждают на подложку послойно путем сканирования ее поверхности, при этом источник ионов вместе с мишенью перемещают...