Фидлер Марио

Устройство и способ для обработки и/или нанесения покрытия на поверхности подложек методом вакуумного напыления

Загрузка...

Номер патента: 23891

Опубликовано: 29.07.2016

Автор: Фидлер Марио

МПК: C23C 14/56, C23C 14/35

Метки: подложек, обработки, устройство, методоm, покрытия, способ, поверхности, вакуумного, напыления, нанесения

Формула / Реферат:

1. Устройство для обработки и/или нанесения покрытия на поверхности подложек методом вакуумного напыления, содержащее вакуумную камеру, в которой установлены несколько держателей (26) подложек, выполненных с возможностью приведения во вращение, по меньшей мере одно экранирующее приспособление (48, 50, 52, 54) и несколько блоков (12, 14, 16) обработки и/или нанесения покрытия, включающих по меньшей мере один из источника испарения, катода,...