Энхолм Робин

Распылительная головка

Загрузка...

Номер патента: 22825

Опубликовано: 31.03.2016

Авторы: Энхолм Робин, Соининен Пекка

МПК: C23C 16/455

Метки: головка, распылительная

Формула / Реферат:

1. Распылительная головка (2) для обработки поверхности (4) подложки (6) последовательными поверхностными реакциями по меньшей мере одного первого прекурсора (А) и второго прекурсора (В), причем распылительная головка (2) имеет выходную сторону (5), содержащую один или более первых подающих каналов (40) для подачи на поверхность (4) подложки (6) первого прекурсора (А); один или более вторых подающих каналов (44) для подачи на поверхность (4)...