C23C 16/54 — устройства, специально приспособленные для непрерывного покрытия

Способ и установка для нанесения пленок на основу

Загрузка...

Номер патента: 19460

Опубликовано: 31.03.2014

Авторы: Леклерк Жозеф, Мишель Эрик, Тиксон Эрик

МПК: C23C 16/54, C23C 16/509, C03C 17/00...

Метки: способ, установка, основу, пленок, нанесения

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленки на одну сторону неорганической основы, отличающийся тем, что он включает следующие операции:основу вводят в или пропускают через реакционную камеру (6, 106, 206), в которой расположены по меньшей мере два электрода (10, 110, 210), по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) расположен между по меньшей мере двумя электродами (10, 110, 210);используют стабилизированный по амплитуде и частоте источник питания...

Способ и установка для нанесения пленок одновременно на обе стороны основы

Загрузка...

Номер патента: 19070

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Мишель Эрик, Леклерк Жозеф, Тиксон Эрик

МПК: C03C 17/00, C23C 16/54, C23C 16/509...

Метки: одновременно, нанесения, способ, стороны, обе, установка, пленок, основы

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленки одновременно на обе стороны неорганического субстрата, отличающийся тем, что он содержит следующие операции:субстрат вводят в, или пропускают через реакционную камеру (106, 206), в которой помещают по меньшей мере два электрода (110, 210), на каждой стороне субстрата помещают по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) между по меньшей мере одной стороной субстрата и этими по меньшей мере двумя электродами...

Установка и способ осаждения материала на подложке

Загрузка...

Номер патента: 10965

Опубликовано: 30.12.2008

Автор: Нолан Джеймс Ф.

МПК: C23C 16/455, C23C 16/00, C23C 16/448...

Метки: подложке, установка, способ, осаждения, материала

Формула / Реферат:

1. Установка для осаждения материала на подложке, содержащая проницаемый элемент трубчатой формы, снабженный средством нагрева до температуры подачи; трубопровод для подачи транспортирующего газа и материала в полость проницаемого элемента; источник вспомогательного газа с множеством отверстий, размещенный в полости проницаемого элемента и обеспечивающий равномерное распределение паров материала, прошедших через проницаемый элемент; и...