C23C 16/509 — с использованием внутренних электродов

Способ и установка для нанесения пленок на основу

Загрузка...

Номер патента: 19460

Опубликовано: 31.03.2014

Авторы: Мишель Эрик, Тиксон Эрик, Леклерк Жозеф

МПК: C23C 16/54, C23C 16/509, C03C 17/00...

Метки: установка, нанесения, способ, пленок, основу

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленки на одну сторону неорганической основы, отличающийся тем, что он включает следующие операции:основу вводят в или пропускают через реакционную камеру (6, 106, 206), в которой расположены по меньшей мере два электрода (10, 110, 210), по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) расположен между по меньшей мере двумя электродами (10, 110, 210);используют стабилизированный по амплитуде и частоте источник питания...

Способ и установка для нанесения пленок одновременно на обе стороны основы

Загрузка...

Номер патента: 19070

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Мишель Эрик, Тиксон Эрик, Леклерк Жозеф

МПК: C23C 16/54, C03C 17/00, C23C 16/509...

Метки: основы, установка, нанесения, способ, стороны, одновременно, обе, пленок

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленки одновременно на обе стороны неорганического субстрата, отличающийся тем, что он содержит следующие операции:субстрат вводят в, или пропускают через реакционную камеру (106, 206), в которой помещают по меньшей мере два электрода (110, 210), на каждой стороне субстрата помещают по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) между по меньшей мере одной стороной субстрата и этими по меньшей мере двумя электродами...