C23C 14/58 — последующая обработка

Способ нанесения тонкого слоя на подложку

Загрузка...

Номер патента: 22598

Опубликовано: 29.01.2016

Авторы: Харченко Андрий, Надо Николя, Дюрандо Анн

МПК: C23C 14/58, C03C 17/245, C03C 17/00...

Метки: способ, нанесения, подложку, тонкого, слоя

Формула / Реферат:

1. Способ покрытия по меньшей мере части поверхности подложки по меньшей мере одним слоем из оксида металла М, содержащий следующие операции:наносят катодным напылением по меньшей мере на часть поверхности подложки по меньшей мере один материал, выбранный из металла М, нитрида металла М или карбида металла М, для получения на поверхности подложки промежуточного слоя, имеющего физическую толщину меньше или равную 20 нм,осуществляют термическую...