C03C 17/09 — осаждением из газовой фазы

Способ нанесения тонкого слоя и получаемый с использованием этого способа продукт

Загрузка...

Номер патента: 17494

Опубликовано: 28.12.2012

Авторы: Надо Николя, Жи Рене, Харченко Андрий, Биллерт Ульрих

МПК: C03C 17/09, C03C 17/245, C03C 17/36...

Метки: тонкого, этого, получаемый, способа, продукт, нанесения, слоя, способ, использованием

Формула / Реферат:

1. Способ обработки по меньшей мере одного тонкого сплошного слоя, нанесенного на первую поверхность субстрата, с целью увеличения степени кристалличности упомянутого тонкого слоя, сохраняя его сплошным без осуществления плавления упомянутого тонкого слоя, отличающийся тем, что каждую точку по меньшей мере одного упомянутого тонкого слоя доводят до температуры, равной по меньшей мере 300°С, поддерживая температуру ниже или равной 150°С в любой...