Патенты с меткой «теневых»

Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев (варианты) и устройство для его реализации

Загрузка...

Номер патента: 8187

Опубликовано: 27.04.2007

Авторы: Хисамов Айрат Хамитович, Ширипов Владимир Яковлевич, Марышев Сергей Павлович

МПК: H01L 21/3065, C23C 14/50, C23C 14/46...

Метки: очистки, масок, реализации, варианты, производстве, способ, устройство, теневых, дисплеев

Формула / Реферат:

1. Способ очистки теневых масок в производстве дисплеев, включающий формирование ионного пучка в вакуумной камере с помощью источника ионов, размещение маски в камере напротив эмиссионной поверхности источника ионов, отличающийся тем, что в вакуумной камере устанавливают охлаждаемый держатель, в котором размещают маску, при этом обрабатываемую поверхность маски, обращенную в сторону эмиссионной поверхности источника ионов, сканируют...