Патенты с меткой «одновременно»

Способ и установка для нанесения пленок одновременно на обе стороны основы

Загрузка...

Номер патента: 19070

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Тиксон Эрик, Мишель Эрик, Леклерк Жозеф

МПК: C23C 16/54, C23C 16/509, C03C 17/00...

Метки: нанесения, стороны, одновременно, обе, установка, основы, способ, пленок

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения пленки одновременно на обе стороны неорганического субстрата, отличающийся тем, что он содержит следующие операции:субстрат вводят в, или пропускают через реакционную камеру (106, 206), в которой помещают по меньшей мере два электрода (110, 210), на каждой стороне субстрата помещают по меньшей мере один диэлектрический барьер (14, 114) между по меньшей мере одной стороной субстрата и этими по меньшей мере двумя электродами...